第23章 升级完成，华国第一台EUV光刻机问世(第2/2 页)
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光刻机对于移动平均偏差、移动标准偏差等数值的要求更高一些。
【物品：ASML第四代ArFi光刻机】
【光源波长：13.5纳米】
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